Tyhjiöhaihdutuspinnoite, jota kutsutaan haihdutukseksi, viittaa prosessiin, jossa pinnoitemateriaali (tai kalvomateriaali) haihdutetaan ja höyrystetään käyttämällä tiettyä kuumennus- ja haihdutusmenetelmää tyhjiöolosuhteissa, ja hiukkaset lentävät alustan pinnalle tiivistymään ja tiivistymään. muodostavat elokuvan. Haihdutus on aikaisempi ja laajalti käytetty höyrypinnoitustekniikka, jonka etuna on yksinkertainen kalvonmuodostusmenetelmä, korkea kalvon puhtaus ja tiiviys sekä ainutlaatuinen kalvorakenne ja suorituskyky. Tyhjiöhaihduttamisessa käytettyjä materiaaleja kutsutaan haihdutusmateriaaleiksi.
Saostusmateriaali haihdutetaan tai sublimoidaan kaasumaisiksi hiukkasiksi → kaasumaiset hiukkaset kulkeutuvat nopeasti haihdutuslähteestä alustan pinnalle → kaasumaiset hiukkaset kiinnittyvät substraatin pintaan ydintymään ja kasvamaan kiinteäksi kalvoksi → tapahtuu kalvon atomirekonstruktio tai kemiallinen sidos.
Aseta substraatti tyhjiökammioon, lämmitä kalvomateriaalia resistanssilla, elektronisäteellä, laserilla jne. kalvomateriaalin haihduttamiseksi tai sublimoimiseksi ja kaasuta se hiukkasiksi (atomeiksi, molekyyleiksi tai atomiryhmiksi) tietyllä energialla ( 0.1-0.3 eV).
Kaasumaiset hiukkaset kuljetetaan nopeasti substraattiin lineaarisella liikkeellä ilman törmäystä. Osa substraatin pinnan saavuttavista hiukkasista heijastuu ja toinen osa adsorboituu alustalle ja diffundoituu pinnalle. Kerrostuneiden atomien välillä tapahtuu kaksiulotteisia törmäyksiä, jotka muodostavat klustereita. Se voi jäädä pinnalle hetken ennen kuin se haihtuu.
Hiukkasklusterit törmäävät jatkuvasti diffundoituvien hiukkasten kanssa tai absorboivat yksittäisiä hiukkasia tai emittoivat yksittäisiä hiukkasia.
Tämä prosessi toistetaan. Kun aggregoituneiden hiukkasten lukumäärä ylittää tietyn kriittisen arvon, siitä tulee vakaa ydin, joka jatkaa sitten hiukkasten absorboimista ja diffundoitumista kasvaakseen vähitellen. Lopuksi jatkuva kalvo muodostuu vierekkäisten stabiilien ytimien kosketuksesta ja yhdistämisestä.
Vastushaihdutuksen periaate: Materiaalit, joiden haihtumislämpötila on 1000-2000 °C, voidaan lämmittää haihdutuslähteenä vastuksella. Lämmitin tuottaa lämpöä sen jälkeen, kun vastus on aktivoitu, ja syntyvä lämpö saa haihdutusmateriaalin molekyylit tai atomit saamaan riittävästi liike-energiaa haihtuakseen.
1. Haihdutuslähde on yleensä filamenttimainen (0.05–0.13 cm), helppokäyttöinen, halpoja kulutusosia ja helppo vaihtaa.
2. Haihtuvan materiaalin on kasteltava lämmityslanka ja sen on tuettava pintajännitystä. Vain metalli tai metalliseos voidaan haihduttaa, ja lämmityslanka on helppo haurastua.
3. Yleisesti käytettyjä haihdutuslähteitä ovat: W, Mo, Ta, korkean lämpötilan kestävä metallioksidi, keraaminen tai grafiittiupokas.
Sähköisen vuokrahaihdutuksen haitat: tukimateriaalin ja höyrystimen välillä voi olla reaktio; yleinen työlämpötila on 1500 ~ 1900 ℃, korkeampaa haihtumislämpötilaa on vaikea saavuttaa, joten haihtuvia materiaaleja on rajoitetusti; haihtumisnopeus on alhainen; lämmitysnopeus ei ole suuri, Jos haihdutuksen aikana haihdutettava materiaali on seos tai yhdiste, se voi hajota tai sillä voi olla erilainen haihtumisnopeus, jolloin kalvon koostumus poikkeaa haihdutetun materiaalin koostumuksesta. Korkeassa lämpötilassa tantaali ja kulta muodostavat seoksia, alumiini, rauta, nikkeli, koboltti jne. muodostavat seoksia volframin, molybdeenin, tantaalin jne. kanssa, ja volframi, molybdeeni reagoi veden tai hapen kanssa muodostaen haihtuvia oksidikaasuja.
Elektronisuihkua kiihdytetään sen jälkeen, kun se on läpäissyt 5-10KV sähkökentän, ja sitten fokusoidaan haihdutettavan materiaalin pintaan, ja energia siirretään haihdutettavaan materiaaliin sulamaan ja haihtumaan.
1. Tulenkestävien aineiden haihtuminen voidaan toteuttaa, ja nopea haihtuminen voidaan toteuttaa suurella tehotiheydellä metalliseosten erottelun estämiseksi.
2. Useita upokkaita voidaan sijoittaa samaan aikaan, ja useita erilaisia aineita voidaan haihduttaa samanaikaisesti tai erikseen;
3. Saasteeton. Useimmat elektronisuihkuhaihdutusjärjestelmät käyttävät magneettista tarkennusta tai magneettista taivutuselektronisuihkua. Haihdutettu materiaali laitetaan vesijäähdytteiseen upokkaaseen, ja upokkaan kanssa kosketuksissa oleva haihdutettava materiaali (vesijäähdytteinen upokas) pysyy kiinteänä ja haihtuu materiaalin pinnalle.
Estää tehokkaasti upokkaan ja haihdutusmateriaalin välisen reaktion, haihdutusmateriaalin ja upokkaan välisen reaktion mahdollisuus on hyvin pieni, sopii erittäin puhtaiden ohutkalvojen valmistukseen ja voi valmistaa ohutkalvomateriaaleja optiikan aloilla , elektroniikka ja optoelektroniikka, kuten Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si jne.; höyrystynyt molekyylien kineettinen energia on suurempi, ja voidaan saada kiinteämpi ja tiheämpi kalvo kuin vastuslämmitys.
Elektronisuihkuhaihduttamisen haitat: Se voi ionisoida haihtunutta kaasua ja jäännöskaasua, mikä joskus vaikuttaa kalvokerroksen laatuun; elektronisuihkuhaihdutuslaitteen rakenne on monimutkainen ja kallis; syntyvillä röntgensäteillä on tiettyjä vahinkoja ihmiskeholle.
Laserhaihdutuksen periaate: Laseria käytetään lämmönlähteenä, ja suurienerginen lasersäde kulkee tyhjökammion ikkunan läpi lämmittääkseen haihtunutta materiaalia sublimaatiopisteeseen, muuttaakseen sen kaasuksi ja kerrostaen sen elokuva.
1. Käytä kosketuksetonta lämmitystä, vähentää saastumista, yksinkertaistaa tyhjiökammiota, sopii puhtaiden kalvojen valmistukseen ultratyhjiössä;
2. Lämmönlähde on puhdas, ilman lämmityskappaleen aiheuttamaa saastumista;
3. Fokusointi voi saada suuren tehon ja voi kerrostaa korkean sulamispisteen materiaaleja, kuten keramiikkaa ja monimutkaisia koostumusmateriaaleja (välitön haihtuminen);
4. Säde on keskittynyt, laserlaite voidaan sijoittaa pitkän matkan päähän ja joitakin erikoismateriaalikalvoja (kuten erittäin radioaktiivisia materiaaleja) voidaan tallettaa turvallisesti;
5. Korkea haihtumisnopeus, kalvolla on korkea tarttuvuus.
Laserhaihdutuksen haitat: kalvon paksuutta on vaikea hallita; se voi aiheuttaa ylikuumenemista hajoamista ja yhdisteiden roiskumista; laserhaihdutuslaitteiden kustannukset ovat suhteellisen korkeat.
Tiukka laadunvalvonta: Täydelliset testauslaitteet ja -järjestelmä.
Täydellinen luokka: Peittää kaikki metallielementit.
Eri muoto: rakeet, jauheet, hiutaleet, tangot, levyt ja renkaat jne.
Eri puhtausaste: 2N7-6N5, 99.7–99.9999 % puhtaus, jopa korkeampi.
Asiakas lähettää tarjouspyynnön sähköpostitse
- materiaali
- Puhtaus
- Mitta
- Määrä
- Piirustus
Vastaa 24 tunnin kuluessa sähköpostitse
- Hinta
- Toimituskulut
- Läpimenoaika
Vahvista tiedot
- Maksuehdot
- Kauppaehdot
- Pakkaustiedot
- Toimitusaika
Vahvista jokin asiakirjoista
- Ostotilaus
- Proforma lasku
- Muodollinen lainaus
Maksuehdot
- T/T
- PayPal
- AliPay
- Luottokortti
Julkaise tuotantosuunnitelma
Vahvista tiedot
Kauppalasku
Pakkauslista
Kuvien pakkaus
Laatusertifikaatti
Kuljetustapa
Expressillä: DHL, FedEx, TNT, UPS
Ilmateitse
Meritse
Asiakkaat tekevät tulliselvityksen ja vastaanottavat paketin
Seuraavaa yhteistyötä odotellessa
EN 
AR
BG
HR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
HI
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
LT
SR
SK
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
MS
GA
CY
BE
KA
BN
BS
MN
NE
MY
TG
UZ
LB